具解除高密度列表头之免薄膜制造之高度体积化晶圆黏合ＭＥＭＳ装置

摘要

一种MEMS类型之喷墨列表头，包括：驱动器元件；以及MEMS元件，由驱动器元件个别制成，该MEMS元件是在缺少牺牲层移除用酸性蚀刻剂情况下形成，其中提供黏合特征以将驱动器元件与MEMS元件运作接合，并且将一喷嘴平板接附于MEMS元件。