| 摘要 |
一种中空阴极电浆产生装置，系由复数个中空阴极电浆源单模组组成之组合，该中空阴极电浆源单模组至少包含有一中空阴极凹槽、一中空阴极鳍片、一气体导管及一冷却水导管所构成，且该中空阴极凹槽系含有复数个微小之出气孔，可将气体均匀释出。藉此，使本发明可在增减模组、改变宽度及真空状态下，能以各种模式电源（DC、Plused、RF）引发电浆，将电浆集中往单方向扩散，并由均匀分布之气体带出电浆。由于本发明系属一体成型可增加散热效果，不仅能轻易增加活化宽度，且宽度增加后可在高功率下操作，以提高特定区之电浆密度，除可缩短处理时间外，亦具有长时间使用之优点。而此中空阴极电浆产生装置系可搭配卷对卷(roll to roll)或一般连线式电浆处理系统同步处理，以提高生产制程整体效率。 |
