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发明名称
感光性聚醯胺酸酯组合物
摘要
本发明提供一种感光性聚醯胺酸酯组合物,其特征在于,相对于100质量份之仅由以特定骨架表示之重复单元构成的聚醯胺酸酯,含有1~40质量份之光起始剂、30~1500质量份之溶剂、及0~150质量份之仅由特定骨架表示之重复单元构成的聚醯胺酸酯。
申请公布号
TW200907567
申请公布日期
2009.02.16
申请号
TW097112401
申请日期
2008.04.03
申请人
旭化成电子材料元件股份有限公司
发明人
田村信史;丹羽基博;丸山公幸
分类号
G03F7/004(2006.01);C08G73/10(2006.01);H01L21/027(2006.01)
主分类号
G03F7/004(2006.01)
代理机构
代理人
陈长文
主权项
地址
日本
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