发明名称 感光性聚醯胺酸酯组合物
摘要 本发明提供一种感光性聚醯胺酸酯组合物,其特征在于,相对于100质量份之仅由以特定骨架表示之重复单元构成的聚醯胺酸酯,含有1~40质量份之光起始剂、30~1500质量份之溶剂、及0~150质量份之仅由特定骨架表示之重复单元构成的聚醯胺酸酯。
申请公布号 TW200907567 申请公布日期 2009.02.16
申请号 TW097112401 申请日期 2008.04.03
申请人 旭化成电子材料元件股份有限公司 发明人 田村信史;丹羽基博;丸山公幸
分类号 G03F7/004(2006.01);C08G73/10(2006.01);H01L21/027(2006.01) 主分类号 G03F7/004(2006.01)
代理机构 代理人 陈长文
主权项
地址 日本