| 发明名称 | 闸极最佳化评估程式库之产生方法与设备 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种使用闸极最佳化处理顺序以及评估程式库的基板处理方法，该评估程式库可包含：闸极蚀刻程序、化学氧化物移除(COR，chemical oxide removal)蚀刻程序、以及评估程序。 | ||
| 申请公布号 | TW200907731 | 申请公布日期 | 2009.02.16 |
| 申请号 | TW097122213 | 申请日期 | 2008.06.13 |
| 申请人 | 东京威力科创股份有限公司 | 发明人 | 山下朝夫;梅瑞特 方克;丹尼尔Ｊ 普拉杰;瑞德哈 圣德拉真;陈立 |
| 分类号 | G06F17/50(2006.01);G06F19/00(2006.01);H01L21/00(2006.01) | 主分类号 | G06F17/50(2006.01) |
| 代理机构 | 代理人 | 周良谋;周良吉 | |
| 主权项 | |||
| 地址 | 日本 | ||