| 摘要 |
为了对一真空测定单元配置进行校正，建议进行以下的方法：a)将该测定单元配置(1)与一校正装置(10)相连接，将该测定终端(5)连接至一真空体积(58)且将该测定单元介面(8)经由一信号线(20)而连接至一校正运行控制器(11)，且将该测定单元配置(1)接通；b)将该测定单元配置上的第一加热温度调整至一预设的固定值；c)藉由在真空体积(58)中产生至少一种预设压力来进行该测定单元配置(1)之第一校正步骤，且同时测得该测定单元配置(1)和至少一参考测定单元(6)之真空测定信号，且将已测得的压力值储存在一校正资料记忆体(13)中；d)藉由一校正处理器(14)而由该测定单元配置(1)和该参考测定单元(6)所求出的差异值来求得多个补偿值，且将这些差异值暂时储存在该校正运行控制器(11)之校正资料记忆体(13)中；e)参考该参考测定单元(60)，在不同的预设操作点所求出的不同的压力值和温度值时，藉由将已求出的补偿值传送至该测定单元资料记忆体(6)来调整该测定单元配置(1)。 |
