高度准直光聚集装置用之方法与设备

摘要

一种在电浆处理室中于电浆处理期间进行电浆光讯问的方法。该方法包含设置一光视埠。该方法亦包含设置一准直仪装置。该准直仪装置设有复数个准直仪，其中该复数个准直仪中的第一准直仪藉由一连接部分，而与该复数个准直仪中的第二准直仪隔开。该方法更包含在一基板被处理的同时，透过该准直仪装置，聚集来自该电浆处理室内之电浆的光信号，以产生高度准直的光信号。