于图案化结构中之测量的方法及系统

摘要

本发明揭示一种具有一图案化区域的样品，及一种用于控制一图案参数的方法。该样品包含至少一个测试结构，该测试结构具有一图案化部位相似该图案化区域中之一图案，该图案化区域中及该至少一个测试结构中之该等图案，是由相同的图案化制程所产出。该至少一个测试结构包含至少一个图案参数，该图案参数具有一预定值，被故意增大到高于由一图案化制程所导致的上述特定参数之一自然值。据此，就能测定由该图案化制程所导致的参数的自然值。