正型光阻组成物及图案形成方法

摘要

一种正型光阻组成物包括：(A)一种在以光化射线或辐射照射时可产生酸之化合物；(B)一种在酸之作用下其在硷显影剂中溶解度增加之树脂，此树脂在80莫耳％或更多之无芳族基共聚合成分；及(C)一种在酸之作用下可分解产生酸之化合物，其中由成分(A)产生之酸与由成分(C)产生之酸间的pKa差绝对值为2或更小，及由成分(A)产生之酸与由成分(C)产生之酸间的分子量差绝对值为50或更小。