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发明名称
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG ALUMINIUMHALTIGER FILME MITTELS AMINO-ALUMINIUM PRECURSOREN
摘要
申请公布号
AT422563(T)
申请公布日期
2009.02.15
申请号
AT20040733869T
申请日期
2004.05.19
申请人
L'AIR LIQUIDE, SOCIETE ANONYME POUR L'ETUDE ET L'EXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE
发明人
JURSICH, GREGORY;INMAN, RONALD
分类号
C23C16/40;C23C16/30;C23C16/34;C23C16/44;C23C16/455;H01L21/314;H01L21/316;H01L21/318
主分类号
C23C16/40
代理机构
代理人
主权项
地址
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