发明名称 PROCEDE DE FABRICATION D'UNE STRUCTURE MICRO-TECHNOLOGIQUE MIXTE ET UNE STRUCTURE AINSI OBTENUE
摘要
申请公布号 FR2906078(B1) 申请公布日期 2009.02.13
申请号 FR20060053820 申请日期 2006.09.19
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ETABLISSEMENT PUBLIC A CARACTERE INDUSTRIEL ET COMMERCIAL 发明人 KOSTRZEWA MAREK;MORICEAU HUBERT;ZUSSY MARC
分类号 H01L21/762;B81C1/00;H01L27/12 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
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