发明名称 MEMS package and manufacturing method thereof
摘要
申请公布号 KR100883607(B1) 申请公布日期 2009.02.13
申请号 KR20060044613 申请日期 2006.05.18
申请人 发明人
分类号 B81B7/02;B81B7/00;B81C1/00 主分类号 B81B7/02
代理机构 代理人
主权项
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