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发明名称
摘要
申请公布号	JP4221526(B2)	申请公布日期	2009.02.12
申请号	JP20030085145	申请日期	2003.03.26
申请人		发明人
分类号	C23C14/24;H01L21/316;C23C16/40;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/509;H01L21/31	主分类号	C23C14/24
代理机构		代理人
主权项
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