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发明名称 Verfahren zur Herstellung eines Kondensators für ein Halbleiterspeicherbauelement
摘要
申请公布号 DE10032213(B8) 申请公布日期 2009.02.12
申请号 DE20001032213 申请日期 2000.07.03
申请人 HYUNDAI ELECTRONICS INDUSTRIES CO. LTD. 发明人 JOO, KWANG CHUL;LEE, KEE JEUNG;HAN, IL KEOUN
分类号 C23C16/40;H01L21/8242;H01L21/02;H01L21/316;H01L21/321;H01L27/108 主分类号 C23C16/40
代理机构 代理人
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