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发明名称
摘要
申请公布号 JP4221313(B2) 申请公布日期 2009.02.12
申请号 JP20040023821 申请日期 2004.01.30
申请人 发明人
分类号 H01L21/822;H01L27/04;H01L21/82 主分类号 H01L21/822
代理机构 代理人
主权项
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