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发明名称
摘要
申请公布号 JP2009506212(A) 申请公布日期 2009.02.12
申请号 JP20080527948 申请日期 2006.08.08
申请人 发明人
分类号 C23C14/14;C23C14/34;C23C14/35;H01L21/28;H01L21/285 主分类号 C23C14/14
代理机构 代理人
主权项
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