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发明名称 Magnetsystem für eine Zerstäubungskathode
摘要
申请公布号 DE102005019100(B4) 申请公布日期 2009.02.12
申请号 DE200510019100 申请日期 2005.04.25
申请人 STEAG HAMATECH AG 发明人 WEINDEL, CHRISTIAN;PACEARESCU, LARISA;RUDAKOWSKI, SIEGMAR;LUKHAUB, WALDEMAR
分类号 H01J37/34;C23C14/35;H05H1/46 主分类号 H01J37/34
代理机构 代理人
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