一种有机气体传感器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种有机气体传感器及其结构，包括基板、第一电极、介质层、敏感薄膜层、第二电极和第三电极，器件中的介质层使用有机功能材料，根据器件结构中各薄膜层和电极位置的不同，器件可以分为顶部接触式和底部接触式两种。本发明采用新型结构提高了气体传感器的集成度、响应速度和响应精度，并且优化了一般气体传感器的制作工艺，降低了工艺要求，提高其性能，大幅降低气体传感器的制备成本及提高设备的可靠性。

主权项

1.一种有机气体传感器，包括基板、第一电极、介质层、敏感薄膜层、第二电极和第三电极，其特征在于，所述介质层为有机高分子材料，该有机高分子材料为：①聚乙烯基吡咯烷酮、聚甲基丙烯酸甲酯、聚苯乙烯和聚乙烯醇中的一种或者多种；②或者是紫外固化胶，包括自由基型紫外光固化胶粘剂，阳离子型紫外光固化胶粘剂以及它们的混合体系。