发明名称 APPARATUS FOR FIXING SUBSTRATE AND APPARATUS FOR PROCESSING THE SUBSTRATE USING THE SAME
摘要
申请公布号 KR100883095(B1) 申请公布日期 2009.02.11
申请号 KR20020076644 申请日期 2002.12.04
申请人 发明人
分类号 G02F1/13;(IPC1-7):G02F1/13 主分类号 G02F1/13
代理机构 代理人
主权项
地址
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