| 发明名称 | 微机电致动装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种微机电(MEM)致动装置，其包括一个可动部分，其包括一个具有至少一个倾斜面的倾斜部分，以及多个位于可动部分至少一个边上的可动梳齿(comb)。微机电致动装置可以大幅降低所需的致动电压，并且不需增加空间占用，从而节省芯片空间，且可以提供监控可动部分的功能。 | ||
| 申请公布号 | CN101364774A | 申请公布日期 | 2009.02.11 |
| 申请号 | CN200810100683.2 | 申请日期 | 2008.05.19 |
| 申请人 | 香港应用科技研究院有限公司 | 发明人 | 王丛舜 |
| 分类号 | H02N1/00(2006.01);H01L49/00(2006.01);B81B3/00(2006.01) | 主分类号 | H02N1/00(2006.01) |
| 代理机构 | 深圳创友专利商标代理有限公司 | 代理人 | 江耀纯 |
| 主权项 | 1.一种微机电致动装置，其包括：一个可动部分，其包含：一个倾斜部分，其具有至少一个倾斜面；以及多个可动梳齿，其位于所述可动部分的至少一个边上。 | ||
| 地址 | 中国香港新界沙田香港科技园科技大道西二号生物资讯中心三楼 | ||