多孔膜微结构器件及其制造方法

摘要

公开一种膜微结构器件(10)。所述膜微结构器件(10)包含：限定第一凹陷(32)的第一玻璃、陶瓷或玻璃-陶瓷板(12)，限定第二凹陷(34)的第二玻璃、陶瓷或玻璃-陶瓷板(20)，以及夹在第一板和第二板(12，20)之间的非金属多孔膜(30)。第一板(12)、第二板(20)和多孔膜(30)结合在一起，设置多孔膜(30)，以覆盖第一凹陷(32)和第二凹陷(34)，在第一板和多孔膜之间限定第一微通道，在第二板和多孔膜之间限定第二微通道，第一微通道与第二微通道流体相连。还揭示了制造膜微结构器件的方法。

主权项

1.一种整体微结构，该微结构包括：第一板，包含限定第一凹进的多个第一壁；第二板，包含限定第二凹进的多个第二壁；玻璃、陶瓷或玻璃-陶瓷多孔膜，设置在第一和第二板之间；其特征在于，第一板、第二板和多孔膜焙烧结合在一起，使多孔膜与多个第一和第二壁合作，限定出第一微通道以及与第一微通道流体连通的第二微通道，所述第一板包含选自玻璃、陶瓷和玻璃-陶瓷的至少一种的材料，所述第二板包含选自玻璃、陶瓷和玻璃-陶瓷的至少一种的材料。