发明名称 | 自由开放式线圈过滤器 | ||
摘要 | 一种自由开放式线圈过滤器,属于镀膜和材料表面改性技术领域。本发明包括:线圈、线圈固定以及绝缘装置、线圈支撑装置和工件罩,线圈使用紫铜软管绕制,线圈固定以及绝缘装置将线圈相邻匝固定住,线圈支撑装置从线圈的中部托住,保证线圈能稳定放置在真空炉内,工件罩位于线圈出口,线圈的相邻匝之间保持3mm到20mm的距离,线圈的供电使用直流电源或者脉冲电源,线圈相对于阳极具有+20V的电位,线圈使用直接水冷方式。本发明具有实施简单、使用灵活的优点,可广泛适用于电子、工具、装饰等表面精密制造和高质量镀膜领域。 | ||
申请公布号 | CN100460556C | 申请公布日期 | 2009.02.11 |
申请号 | CN200610117883.X | 申请日期 | 2006.11.02 |
申请人 | 上海交通大学 | 发明人 | 蔡珣;戴华;沈耀;胡亚威;陈秋龙 |
分类号 | C23C14/32(2006.01) | 主分类号 | C23C14/32(2006.01) |
代理机构 | 上海交达专利事务所 | 代理人 | 王锡麟;张宗明 |
主权项 | 1.一种自由开放式线圈过滤器,包括:线圈、线圈固定以及绝缘装置、线圈支撑装置和工件罩,其特征在于:线圈使用紫铜软管绕制,线圈固定以及绝缘装置将线圈相邻匝固定住,线圈支撑装置从线圈的中部托住,保证线圈能稳定放置在真空炉内,工件罩位于线圈出口,线圈的相邻匝之间保持3mm到20mm的距离,线圈与高功率电阻箱串连,其相对于阳极具有+20V的电位;所述的线圈采用直接水冷方式并使用直流电源供电,其工作电流值为200A到600A之间。 | ||
地址 | 200240上海市闵行区东川路800号 |