发明名称 自由开放式线圈过滤器
摘要 一种自由开放式线圈过滤器,属于镀膜和材料表面改性技术领域。本发明包括:线圈、线圈固定以及绝缘装置、线圈支撑装置和工件罩,线圈使用紫铜软管绕制,线圈固定以及绝缘装置将线圈相邻匝固定住,线圈支撑装置从线圈的中部托住,保证线圈能稳定放置在真空炉内,工件罩位于线圈出口,线圈的相邻匝之间保持3mm到20mm的距离,线圈的供电使用直流电源或者脉冲电源,线圈相对于阳极具有+20V的电位,线圈使用直接水冷方式。本发明具有实施简单、使用灵活的优点,可广泛适用于电子、工具、装饰等表面精密制造和高质量镀膜领域。
申请公布号 CN100460556C 申请公布日期 2009.02.11
申请号 CN200610117883.X 申请日期 2006.11.02
申请人 上海交通大学 发明人 蔡珣;戴华;沈耀;胡亚威;陈秋龙
分类号 C23C14/32(2006.01) 主分类号 C23C14/32(2006.01)
代理机构 上海交达专利事务所 代理人 王锡麟;张宗明
主权项 1.一种自由开放式线圈过滤器,包括:线圈、线圈固定以及绝缘装置、线圈支撑装置和工件罩,其特征在于:线圈使用紫铜软管绕制,线圈固定以及绝缘装置将线圈相邻匝固定住,线圈支撑装置从线圈的中部托住,保证线圈能稳定放置在真空炉内,工件罩位于线圈出口,线圈的相邻匝之间保持3mm到20mm的距离,线圈与高功率电阻箱串连,其相对于阳极具有+20V的电位;所述的线圈采用直接水冷方式并使用直流电源供电,其工作电流值为200A到600A之间。
地址 200240上海市闵行区东川路800号