发明名称 |
半导体结构及其形成方法、横向扩散P型金氧半晶体管 |
摘要 |
本发明涉及一种半导体结构,包括设置于半导体基板上的埋层,埋层为第一型掺杂。第一磊晶层形成于埋层上,其为第二型掺杂。第二磊晶层形成于埋层上,其为第二型掺杂;隔离结构设置于埋层上并设置于第一磊晶层与第二磊晶层之间,且该隔离结构为第一型掺杂。第一井区形成于第一磊晶层上,其为第二型掺杂;第二井区形成于第二磊晶层上,其为第二型掺杂;以及第三井区形成于隔离结构上并设置于第一井区与第二井区之间,且该第三井区为第一型掺杂。隔离结构与埋层及第三井区交界,以阻挡第一井区与第二井区的漏电流路径。 |
申请公布号 |
CN100461455C |
申请公布日期 |
2009.02.11 |
申请号 |
CN200610019889.3 |
申请日期 |
2006.03.01 |
申请人 |
台湾积体电路制造股份有限公司 |
发明人 |
李国廷;伍佑国;陈富信;姜安民 |
分类号 |
H01L29/78(2006.01);H01L27/04(2006.01);H01L21/336(2006.01);H01L21/822(2006.01) |
主分类号 |
H01L29/78(2006.01) |
代理机构 |
隆天国际知识产权代理有限公司 |
代理人 |
王玉双;高龙鑫 |
主权项 |
1.一种半导体结构,包括:埋层,设置于半导体基板上,该埋层为第一型掺杂;第一磊晶层,形成于该埋层上,该第一磊晶层为第二型掺杂;第二磊晶层,形成于该埋层上,该第二磊晶层为第二型掺杂;隔离结构设置于该埋层上,该隔离结构设置于该第一磊晶层与该第二磊晶层之间,且该隔离结构为第一型掺杂;第一井区形成于该第一磊晶层上,该第一井区为第二型掺杂;第二井区形成于该第二磊晶层上,该第二井区为第二型掺杂;以及第三井区形成于该隔离结构上,该第三井区设置于该第一井区与该第二井区之间,且该第三井区为第一型掺杂;其中该隔离结构与该埋层及该第三井区交界,以阻挡该第一井区与该第二井区的漏电流路径。 |
地址 |
中国台湾新竹市 |