电容式传声器

摘要

一种电容式传声器，包括基板、隔膜、板件和支承结构，其中，基板在后腔中具有开口，隔膜中心部和从中心部沿径向方向延伸的多个臂，板件被定位为与隔膜相对，支承结构用于将隔膜的周边和板件的周边支承在基板上方同时使具有导电特性的隔膜和板件彼此绝缘。支承结构在基板、隔膜和板件之间形成多个间隙。具有绝缘特性的突出部形成在隔膜的中心部和多个臂中，以便朝向基板凸伸并且沿隔膜的圆周方向被彼此分隔开。这防止隔膜意外地贴附和固定到基板，由此改善电容式传声器的灵敏度。

主权项

1.一种电容式传声器，包括：基板，在后腔中具有开口；隔膜，包括具有导电特性的沉积膜，其中，所述隔膜包括中心部和多个臂，所述中心部定位为与所述开口和所述基板的所述开口的周围区域相对，所述多个臂从所述中心部沿径向方向延伸；板件，包括具有导电特性的沉积膜，所述板件定位为与所述隔膜相对；以及支承结构，用于将所述隔膜的周边和所述板件的周边支承在所述基板上方并同时使得所述隔膜和所述板件彼此绝缘，其中，包括沉积膜的所述支承结构形成所述基板和所述隔膜之间的第一间隙以及所述隔膜和所述板件之间的第二间隙，其中，朝向所述基板凸伸的多个突出部在所述多个臂之间沿圆周方向形成在所述隔膜的中心部。