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发明名称
TRENCH WIDENING WITHOUT MERGING
摘要
申请公布号
EP2022096(A2)
申请公布日期
2009.02.11
申请号
EP20070729217
申请日期
2007.05.16
申请人
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION
发明人
CHENG, KANGGUO;DIVAKARUNI, RAMACHANDRA
分类号
H01L29/94;H01L21/334
主分类号
H01L29/94
代理机构
代理人
主权项
地址
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