发明名称 镀膜支架及镀膜机
摘要 本发明提供了一种镀膜支架,其包括一个支架本体及至少一个基片夹具,所述每个基片夹具和所述支架本体之间通过转轴连接。所述每个基片夹具相连的转轴上设有一第一齿轮,所述每个基片夹具对应设置有一磁流控制元件,所述每个磁流控制元件可驱动一与该第一齿轮相互啮合的第二齿轮,从而驱动转轴转动,带动基片夹具翻转。所述镀膜支架具有可实现对镀膜基片夹具自动翻面,且翻面角度控制精确的优点。本发明还提供了一种采用该镀膜支架的镀膜机。
申请公布号 CN101363117A 申请公布日期 2009.02.11
申请号 CN200710201301.0 申请日期 2007.08.08
申请人 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 发明人 陈杰良;简士哲;王仲培
分类号 C23C14/54(2006.01);C03C17/00(2006.01);B65G49/05(2006.01) 主分类号 C23C14/54(2006.01)
代理机构 代理人
主权项 【权利要求1】一种镀膜支架,其包括一个支架本体及至少一个基片夹具,所述每个基片夹具和所述支架本体之间通过转轴连接,其特征在于,所述每个基片夹具相连的转轴上设有一第一齿轮,所述每个基片夹具对应设置有一磁流控制元件,所述每个磁流控制元件可驱动一与该第一齿轮相互啮合的第二齿轮,从而驱动转轴转动,带动基片夹具翻转。
地址 518109广东省深圳市宝安区龙华镇油松第十工业区东环二路2号