发明名称 |
镀膜支架及镀膜机 |
摘要 |
本发明提供了一种镀膜支架,其包括一个支架本体及至少一个基片夹具,所述每个基片夹具和所述支架本体之间通过转轴连接。所述每个基片夹具相连的转轴上设有一第一齿轮,所述每个基片夹具对应设置有一磁流控制元件,所述每个磁流控制元件可驱动一与该第一齿轮相互啮合的第二齿轮,从而驱动转轴转动,带动基片夹具翻转。所述镀膜支架具有可实现对镀膜基片夹具自动翻面,且翻面角度控制精确的优点。本发明还提供了一种采用该镀膜支架的镀膜机。 |
申请公布号 |
CN101363117A |
申请公布日期 |
2009.02.11 |
申请号 |
CN200710201301.0 |
申请日期 |
2007.08.08 |
申请人 |
鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
发明人 |
陈杰良;简士哲;王仲培 |
分类号 |
C23C14/54(2006.01);C03C17/00(2006.01);B65G49/05(2006.01) |
主分类号 |
C23C14/54(2006.01) |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
【权利要求1】一种镀膜支架,其包括一个支架本体及至少一个基片夹具,所述每个基片夹具和所述支架本体之间通过转轴连接,其特征在于,所述每个基片夹具相连的转轴上设有一第一齿轮,所述每个基片夹具对应设置有一磁流控制元件,所述每个磁流控制元件可驱动一与该第一齿轮相互啮合的第二齿轮,从而驱动转轴转动,带动基片夹具翻转。 |
地址 |
518109广东省深圳市宝安区龙华镇油松第十工业区东环二路2号 |