| 发明名称 | 钛酸锶钡法布里－珀罗光学微腔及制备方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种钛酸锶钡FP光学微腔及制备方法，光学微腔由钛酸锶钡铁电布拉格反射膜层和钛酸锶钡缺陷层构成。钛酸锶钡FP光学微腔采用化学溶液法生长，溶剂为冰醋酸，稳定剂为己酰丙酮，增稠剂为聚乙烯吡咯烷酮。溶质为醋酸钡、醋酸锶、正丁醇钛。其中生长缺陷层的溶液中无聚乙烯吡咯烷酮。本发明的优点是：所用设备简单，操作方便。同时，通过选择工艺参数，溶液浓度等手段，可以得到在不同频段工作的铁电单模光学微腔及耦合光学微腔。 | ||
| 申请公布号 | CN100461560C | 申请公布日期 | 2009.02.11 |
| 申请号 | CN200710038665.1 | 申请日期 | 2007.03.29 |
| 申请人 | 中国科学院上海技术物理研究所 | 发明人 | 胡古今;洪学鵾;戴宁 |
| 分类号 | H01S5/10(2006.01) | 主分类号 | H01S5/10(2006.01) |
| 代理机构 | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人 | 郭英 |
| 主权项 | 1.一种钛酸锶钡FP光学微腔，它具有二种结构之一，一种为单模光学微腔，另一种为耦合光学微腔；其特征在于：单模光学微腔包括：钛酸锶单晶衬底，在衬底上通过化学溶液法依次排列生长如下结构的膜层：BST DBRs/BSTzm/BST DBRs；耦合光学微腔包括：钛酸锶单晶衬底，在衬底上通过化学溶液法依次排列生长如下结构的膜层：BST DBRs/BSTzm/BST DBRs/BSTzm/BST DBRs；上述膜层中的BST DBRs为FP光学微腔的多孔钛酸锶钡铁电布拉格反射膜层，其厚度为0.5-3μm，BSTzm为FP光学微腔的致密钛酸锶钡缺陷层，其厚度为10-100nm。 | ||
| 地址 | 200083上海市玉田路500号 | ||