Polishing composition and polishing method employing it,申请号EP20000303792-传众专利搜索

发明名称	Polishing composition and polishing method employing it
摘要
申请公布号	EP1152046(B1)	申请公布日期	2009.02.11
申请号	EP20000303792	申请日期	2000.05.05
申请人	FUJIMI INCORPORATED	发明人	INA, KATSUYOSHI;KITAMURA, TADAHIRO;SUZUMURA, SATOSHI
分类号	C09G1/02;H01L21/304;C09K3/14;H01L21/321	主分类号	C09G1/02
代理机构		代理人
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