泄漏检测系统和用于真空泵送泄漏检测器的方法

摘要

本发明提供了一种泄漏检测系统，包括：氦气质谱泄漏检测器；第一级真空泵，第一级真空泵具有一入口和一排气口，入口与氦气质谱泄漏检测器气体连通，第一级真空泵包括一无油正排量真空泵，无油正排量真空泵是涡旋式真空泵、多级罗茨真空泵、多级活塞真空泵、螺杆真空泵或钩爪真空泵；以及第二级真空泵，第二级真空泵具有连接到第一级真空泵的排气口的一入口，当单独操作时，第一级真空泵具有第一级真空泵压缩比，当单独操作时，第二级真空泵具有第二级真空泵压缩比，第一级真空泵和一同操作的第二级真空泵的轻气体压缩比大于第一级真空泵压缩比与第二级真空泵压缩比之积。

主权项

1.一种泄漏检测系统，包括：氦气质谱泄漏检测器；第一级真空泵，所述第一级真空泵具有一入口和一排气口，所述入口与所述氦气质谱泄漏检测器气体连通，所述第一级真空泵包括一无油正排量真空泵，所述无油正排量真空泵是涡旋式真空泵、多级罗茨真空泵、多级活塞真空泵、螺杆真空泵或钩爪真空泵；以及第二级真空泵，所述第二级真空泵具有连接到所述第一级真空泵的排气口的一入口，当单独操作时，所述第一级真空泵具有第一级真空泵压缩比，当单独操作时，所述第二级真空泵具有第二级真空泵压缩比，所述第一级真空泵和一同操作的所述第二级真空泵的轻气体压缩比大于所述第一级真空泵压缩比与所述第二级真空泵压缩比之积。