一种真空吸附式三坐标柔性调姿单元

摘要

本发明公开了一种真空吸附式三坐标柔性调姿单元。具有底座、X向滚珠丝杠、X向减速器、X向伺服电机、纵横拖板、上拖板、支撑缸体、伸缩柱、夹紧套筒、真空吸附球头、Z向滚珠丝杠、Z向光栅尺、蜗轮蜗杆减速器、Y向导轨滑块、Y向直线导轨、X向风琴罩、X向直线导轨、X向导轨滑块、Y向滚珠丝杠、Y向风琴罩、Z向伺服电机、Y向减速器、Y向伺服电机；通过伺服电机、滚珠丝杠驱动与光栅尺反馈进行闭环控制，实现X、Y、Z三个方向的精确定位，并在相应方向上设有风琴罩进行保护。本发明通过真空吸附支撑并固持具有复杂型面的部件，支撑稳定可靠，三个方向可以实现协同运动控制，作为核心单元，通过一定的配置可构成具有不同用途的调姿系统。

主权项

1.一种真空吸附式三坐标柔性调姿单元，其特征在于包括底座(1)、X向滚珠丝杠(2)、X向减速器(3)、X向伺服电机(4)、纵横拖板(5)、上拖板(6)、支撑缸体(7)、伸缩柱(8)、夹紧套筒(9)、真空吸附球头(10)、Z向滚珠丝杠(11)、Z向光栅尺(12)、蜗轮蜗杆减速器(13)、Y向导轨滑块(14)、Y向直线导轨(15)、X向风琴罩(16)、X向直线导轨(17)、X向导轨滑块(18)、Y向滚珠丝杠(19)、Y向风琴罩(20)、Z向伺服电机(21)、Y向减速器(22)、Y向伺服电机(23)；底座(1)上表面两侧设有X向直线导轨(17)，底座(1)上两X向直线导轨(17)之间设有X向滚珠丝杠(2)，X向滚珠丝杠(2)端部经X向减速器(3)与X向伺服电机(4)相连接，X向滚珠丝杠(2)上的螺母和X向导轨滑块(18)与纵横拖板(5)相连接，纵横拖板(5)上表面两侧设有Y向直线导轨(15)，纵横拖板(5)上两Y向直线导轨(15)之间设有Y向滚珠丝杠(19)，Y向滚珠丝杠(19)端部经Y向减速器(22)与Y向伺服电机(23)相连接，Y向滚珠丝杠(19)上的螺母和Y向导轨滑块(14)与上拖板(6)相连接，上拖板(6)上固定有支撑缸体(7)，支撑缸体(7)外设有Z向光栅尺(12)，支撑缸体(7)内设有伸缩柱(8)，伸缩柱(8)与支撑缸体(7)之间设有夹紧套筒(9)，伸缩柱(8)上端部设有真空吸附球头(10)，伸缩柱(8)内设有Z向滚珠丝杠(11)，Z向滚珠丝杠(11)通过蜗轮蜗杆减速器(13)与Z向伺服电机(21)相连接，底座(1)上设有X向风琴罩(16)，纵横拖板(5)上设有Y向风琴罩(20)。