| 发明名称 | 电可再编程熔丝器件 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种电可再编程熔丝器件，用于集成电路器件，其采用Si<SUB>x</SUB>Sb<SUB>100－x</SUB>(0≤x＜90)合金作为熔丝材料，利用电信号对熔丝进行可逆的编程操作，熔丝器件单元的电阻可在高、低电阻之间实现转换，从而实现对电路的修复操作。基于SiSb材料的熔丝器件的特点还在于对尺寸效应不敏感，熔丝器件在大小尺寸下都可实现可靠工作(熔丝线宽在数纳米到数毫米之间可调)，熔丝的低阻态具有较低的电阻值，高阻态具有较高的电阻值，是一种良好的熔丝器件。 | ||
| 申请公布号 | CN101364588A | 申请公布日期 | 2009.02.11 |
| 申请号 | CN200810041871.2 | 申请日期 | 2008.08.19 |
| 申请人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 发明人 | 张挺;宋志棠;刘波;封松林 |
| 分类号 | H01L23/525(2006.01);H01L23/532(2006.01) | 主分类号 | H01L23/525(2006.01) |
| 代理机构 | 上海光华专利事务所 | 代理人 | 余明伟 |
| 主权项 | 1.一种电可再编程熔丝器件，用于集成电路器件，其特征在于：所述的电可再编程熔丝器件采用Sb材料或SiSb材料作为熔丝。 | ||
| 地址 | 200050上海市长宁区长宁路865号 | ||