发明名称 层形成方法、有源矩阵基板的制造方法及多层布线基板的制造方法
摘要 层形成方法,包含:第1工序,该工序在基底表面的2个部位的每一个上,配置第1液滴,以便在所述基底表面上形成互相孤立的2个圆点状图案;第2工序,该工序使所述2个圆点状图案固定在所述基底表面上;第3工序,该工序至少使所述2个圆点状图案之间的所述基底表面对第2液滴而言亲液化;第4工序,该工序在所述第3工序之后,在所述2个圆点状图案之间的所述基底表面,配置连接所述2个圆点状的图案的所述第2液滴。在这里,所述第3工序,也可以包含在固定的所述2个圆点状图案的每一个上分别配置第3液滴的工序。提供将液滴配置在基底表面后设置良好的浓密状图案的方法。
申请公布号 CN100461335C 申请公布日期 2009.02.11
申请号 CN200610126156.X 申请日期 2006.08.28
申请人 精工爱普生株式会社 发明人 新馆刚;水垣浩一;樱田和昭;和田健嗣
分类号 H01L21/00(2006.01);H01L21/288(2006.01);H01L21/768(2006.01);H01L21/48(2006.01);H05K3/12(2006.01) 主分类号 H01L21/00(2006.01)
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 代理人 汪惠民
主权项 1.一种层形成方法,包含:第1工序,该工序在基底表面的2个部位的每一个上,配置第1液滴,以便在所述基底表面上形成互相孤立的2个圆点状图案;第2工序,该工序通过除去液滴中的溶剂或分散剂使所述2个圆点状图案固定在所述基底表面上;第3工序,该工序至少使所述2个圆点状图案之间的所述基底表面对第2液滴而言亲液化;第4工序,该工序在所述第3工序之后,在所述2个圆点状图案之间的所述基底表面,配置连接所述2个圆点状图案的所述第2液滴。
地址 日本东京
您可能感兴趣的专利