发明名称 |
层形成方法、有源矩阵基板的制造方法及多层布线基板的制造方法 |
摘要 |
层形成方法,包含:第1工序,该工序在基底表面的2个部位的每一个上,配置第1液滴,以便在所述基底表面上形成互相孤立的2个圆点状图案;第2工序,该工序使所述2个圆点状图案固定在所述基底表面上;第3工序,该工序至少使所述2个圆点状图案之间的所述基底表面对第2液滴而言亲液化;第4工序,该工序在所述第3工序之后,在所述2个圆点状图案之间的所述基底表面,配置连接所述2个圆点状的图案的所述第2液滴。在这里,所述第3工序,也可以包含在固定的所述2个圆点状图案的每一个上分别配置第3液滴的工序。提供将液滴配置在基底表面后设置良好的浓密状图案的方法。 |
申请公布号 |
CN100461335C |
申请公布日期 |
2009.02.11 |
申请号 |
CN200610126156.X |
申请日期 |
2006.08.28 |
申请人 |
精工爱普生株式会社 |
发明人 |
新馆刚;水垣浩一;樱田和昭;和田健嗣 |
分类号 |
H01L21/00(2006.01);H01L21/288(2006.01);H01L21/768(2006.01);H01L21/48(2006.01);H05K3/12(2006.01) |
主分类号 |
H01L21/00(2006.01) |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 |
代理人 |
汪惠民 |
主权项 |
1.一种层形成方法,包含:第1工序,该工序在基底表面的2个部位的每一个上,配置第1液滴,以便在所述基底表面上形成互相孤立的2个圆点状图案;第2工序,该工序通过除去液滴中的溶剂或分散剂使所述2个圆点状图案固定在所述基底表面上;第3工序,该工序至少使所述2个圆点状图案之间的所述基底表面对第2液滴而言亲液化;第4工序,该工序在所述第3工序之后,在所述2个圆点状图案之间的所述基底表面,配置连接所述2个圆点状图案的所述第2液滴。 |
地址 |
日本东京 |