发明名称 PATTERNING OF MECHANICAL LAYER IN MEMS TO REDUCE STRESSES AT SUPPORTS
摘要
申请公布号 EP2021860(A2) 申请公布日期 2009.02.11
申请号 EP20070861284 申请日期 2007.04.09
申请人 QUALCOMM MEMS TECHNOLOGIES, INC. 发明人 TUNG, MING-HAU;CHUNG, WONSUK
分类号 G02B26/00;B81C1/00 主分类号 G02B26/00
代理机构 代理人
主权项
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