发明名称 | 一种电阻测试方法 | ||
摘要 | 现有技术的电阻测量方法所测得的测量电阻是接触电阻与结构电阻的总和,当接触电阻相对于结构电阻不可忽略的时候,所测得的结构电阻存在较大误差;本发明提供了一种电阻测试方法,可以精确测量接触电阻值,进而通过接触电阻和测量电阻得到结构电阻的精确值,大大减小了电阻的测试误差,提高了测试的精确度。 | ||
申请公布号 | CN101363881A | 申请公布日期 | 2009.02.11 |
申请号 | CN200710044693.4 | 申请日期 | 2007.08.08 |
申请人 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 发明人 | 许松;马瑾怡 |
分类号 | G01R27/08(2006.01) | 主分类号 | G01R27/08(2006.01) |
代理机构 | 北京市金杜律师事务所 | 代理人 | 楼仙英 |
主权项 | 1.一种使用一种测试结构来测量电阻的方法,其中,所述测试结构包括第一测试端、第二测试端、第三测试端和被测电阻,其中所述第一测试端和所述第三测试端位于所述第二测试端两侧,且所述第一测试端、第二测试端以及第三测试端都与所述被测电阻连接,其特征在于所述电阻测试方法包含以下步骤:A.使所述第二测试端至第三测试端的电流为0A;B.测算所述第二测试端的接触电阻。 | ||
地址 | 201203上海市浦东新区张江路18号 |