发明名称 |
用于形成突起的非氰类电解金电镀液 |
摘要 |
本发明公开了用于形成突起的非氰类电解金电镀液,其中含有作为金源的亚硫酸金碱盐或亚硫酸金铵、结晶调整剂、亚硫酸钾组成的传导盐5~150g/L、分子量200~6000的聚亚烷基二醇1mg/L~6g/L和/或两性表面活性剂0.1mg~1g/L、水溶性胺和/或缓冲剂。在图案化了的晶片上使用本发明的金电镀液进行了电解金镀后,通过5分钟以上在200~400℃的热处理,形成被膜硬度为50~90Hv,表面的高度差为1.8μm以下的突起。 |
申请公布号 |
CN101363128A |
申请公布日期 |
2009.02.11 |
申请号 |
CN200810145867.0 |
申请日期 |
2008.08.07 |
申请人 |
恩伊凯慕凯特股份有限公司 |
发明人 |
中村裕树;井上晃一郎 |
分类号 |
C25D3/48(2006.01);H05K3/18(2006.01);H01L21/288(2006.01);H01L21/445(2006.01) |
主分类号 |
C25D3/48(2006.01) |
代理机构 |
北京律诚同业知识产权代理有限公司 |
代理人 |
徐金国;祁建国 |
主权项 |
1.一种用于形成突起的非氰类电解金电镀液,其特征在于,其含有亚硫酸金碱盐或亚硫酸金铵、结晶调整剂、亚硫酸钾5~150g/L、分子量200~6000的聚亚烷基二醇1mg/L~6g/L和/或两性表面活性剂0.1mg~1g/L、水溶性胺和/或缓冲剂。 |
地址 |
日本东京 |