发明名称 FLEXIBLE MICRO/NANOFLUIDIC DEVICES
摘要 <p>The present invention relates to a method for manufacturing micro/nanofluidic devices that incorporate overhanging micromechanical and metal components monolithically integrated with the fluidic circuitry.</p>
申请公布号 EP2022753(A1) 申请公布日期 2009.02.11
申请号 EP20070765875 申请日期 2007.05.22
申请人 IKERLAN CENTRO DE INVESTIGACIONES TECNOLOGICAS, S.COOP. 发明人 BLANCO BARRO, FCO. JAVIER;AGUIRREGABIRIA IZAGUIRRE, MARIA;EZKERRA FERNANDEZ, AITOR;SCHULZE, JANETTE LILIAN MARIA;RUANO LOPEZ, JESUS MIGUEL;MAYORA ORIA, KEPA
分类号 B81C1/00;A61B5/00;A61M31/00;A61M37/00;B01L3/00;B81B3/00;B82Y5/00;H01L21/64 主分类号 B81C1/00
代理机构 代理人
主权项
地址