发明名称 CAPACITOR WITH RUHENIUM BASE ELECTRODE AND METHOD FOR FABRICATING THE SAME
摘要 <p>A capacitor includes a lower electrode, a dielectric layer over the lower electrode, and an upper electrode having a stack structure including a ruthenium-containing layer and a tungsten-containing layer over the dielectric layer.</p>
申请公布号 KR100883139(B1) 申请公布日期 2009.02.10
申请号 KR20070064493 申请日期 2007.06.28
申请人 发明人
分类号 H01L27/108;H01L21/8242;H01L27/04 主分类号 H01L27/108
代理机构 代理人
主权项
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