发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURING METHOD THEREOF
摘要
申请公布号 KR100882289(B1) 申请公布日期 2009.02.10
申请号 KR20077007663 申请日期 2007.04.03
申请人 发明人
分类号 H01L21/28;B82B3/00 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
地址