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发明名称 Sensor platform, apparatus incorporating the platform, and process using the platform
摘要
申请公布号 KR100883079(B1) 申请公布日期 2009.02.10
申请号 KR20017016811 申请日期 2001.12.28
申请人 发明人
分类号 H01L21/3065;G01N21/64;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
主权项
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