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发明名称 Vacuum evaporation method
摘要
申请公布号 US3085913(A) 申请公布日期 1963.04.16
申请号 US19600059934 申请日期 1960.10.03
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 CASWELL HOILIS L.
分类号 C23C14/04;H01B1/00;H01L39/00 主分类号 C23C14/04
代理机构 代理人
主权项
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