发明名称 Antenna for treating device of inductively coupled plasma using ferrite
摘要
申请公布号 KR100882450(B1) 申请公布日期 2009.02.06
申请号 KR20070055961 申请日期 2007.06.08
申请人 发明人
分类号 H05H1/34;H01L21/3065 主分类号 H05H1/34
代理机构 代理人
主权项
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