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发明名称 CONTROLLER OF SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS, CONTROLLING METHOD OF SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS, AND STORAGE MEDIUM STORING CONTROL PROGRAM OF SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS
摘要
申请公布号 KR100882221(B1) 申请公布日期 2009.02.06
申请号 KR20070031063 申请日期 2007.03.29
申请人 发明人
分类号 H01L21/02;H01L21/205 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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