| 摘要 |
<p>【課題】迅速な交換、材料の節約、コストの低減、使用寿命の延長ができるウエハ研磨定位環を提供する。【解決手段】ウエハ定位環は、基部１１と研磨部１２を含み、基部１１は、金属または非金属材質からなり、その上に環状配列した定位孔を設置し、下方は研磨部１２と結合し、研磨部１２下方に研磨ブロックを有する。基部１１と研磨部１２の結合方式は、基部１１下方の接合部材と研磨部１２の蟻溝１２１を利用してラッチするか、基部１１と研磨部１２表面を接着するか、基部１１と研磨部１２外縁１１Ｃに形成した相互に対応する蟻溝１１６を利用することができ、更に、形状が相互に合った挿入ピンを利用して接合する。研磨部１２は、複数の研磨ブロックによって研磨部１２底部に接合することもでき、部分的な研磨部１２の損傷時、部分的交換を行うことができ、時間、材料を節減し、使用寿命を延長する効果を有する。【選択図】図６</p> |
