发明名称 Glow discharge vacuum pump apparatus
摘要
申请公布号 US3088657(A) 申请公布日期 1963.05.07
申请号 US19590801186 申请日期 1959.03.23
申请人 VARIAN ASSOCIATES 发明人 ZAPHIROPOULOS RENN;LLOYD WILLIAM A.
分类号 H01J41/06;H01J41/20 主分类号 H01J41/06
代理机构 代理人
主权项
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