PIEZOELECTRIC PRESSURE SENSOR

摘要

Die Erfindung betrifft einen piezoelektrischen Drucksensor (1) mit in einem Gehäuse (2) eingesetzten piezoelektrischen Messelementen (3) und einem druckseitig am Gehäuse (2) angeordneten Membranelement (4), welches im Zentrum einer dünnen kreisringförmigen Membran (16) einen zentralen Membranstempel (15) aufweist, wobei die piezoelektrischen Messelemente (3) radial außerhalb eines im Wesentlichen entlang der Sensorlängsachse (1') eingesetzten Vorspannelementes (8) angeordnet sind, welches die Gehäusebasis (5) durchsetzt, zur Signalableitung dient und am membranseitigen Ende mit einem Druckstück verbunden ist. Erfindungsgemäß ist der zentrale Membranstempel (15) am Druckstück (17) befestigt und das Vorspannelement (8) unter Zwischenlage eines gasdichten Isolierelementes (18) an der Gehäusebasis (5) vorgespannt. Weiters weist das Druckstück (17) eine Dichtschulter (19) auf, die bei einem Bruch der Messelemente (3) an einem Dichtsitz (20) im Inneren des Gehäuses (2) anliegt und eine gasdichte Zone bildet.