发明名称 |
METHOD FOR FABRICATING ZnO THIN FILMS |
摘要 |
Disclosed is a method for fabricating ZnO thin films using a ZnO precursor solution containing zinc hydroxide nitrate (Zn5(OH)8(NO3)2.2H2O) as a zinc supplier. The ZnO thin film is fabricated by using a simple and economical coating method at a low process temperature.
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申请公布号 |
US2009035457(A1) |
申请公布日期 |
2009.02.05 |
申请号 |
US20080126380 |
申请日期 |
2008.05.23 |
申请人 |
SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. |
发明人 |
HEO JEONG NA;LEE JEONG HEE |
分类号 |
B05D5/12 |
主分类号 |
B05D5/12 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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