Zweidimensionale Transferstation, die als Schnittstelle zwischen einer Prozessanlage und einem Transportsystem dient, und Verfahren zum Betreiben der Station

摘要

Durch Bereitstellen eines platzsparenden Transferpuffersystems in einer Fertigungsumgebung, das als eine lokale Schnittstelle zwischen einem automatisierten Transportsystem und der Ladestationsanordnung einer betrachteten Prozessanlage dient, kann die Eingabe/Ausgabe-Kapazität der Prozessanlage deutlich erhöht werden, ohne dass in unerwünschter Weise zur Gesamtbreite der Prozessanlagen beigetragen wird. In speziellen Ausführungsformen wird eine Array-artige Anordnung entsprechender Pufferplätzen eingesetzt, wobei auf jeden Pufferplatz durch das Transportsystem zugegriffen werden kann und jeder Pufferplatz auch mit jeder Ladestation der Prozessanlagen in Wechselwirkung treten kann.