METHOD AND DEVICE FOR THE PRODUCTION OF A GRID WITH CHIRP

摘要

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen eines Gitters mit Chirp, bei dem eine Gitterstruktur in einen Träger eingeschrieben wird, indem der Träger in einem Beugungsfeld eines Beugungsgitters (3) belichtet wird, wobei das Beugungsgitter (3) zum Belichten des Trägers in einen Zustand mit orts- und/oder zeitabhängiger relativer Längenänderung deformiert wird. Die Erfindung betrifft ferner eine entsprechende Vorrichtung zum Herstellen eines Gitters mit Chirp.