| 发明名称 | 薄膜多层结构、包括所述结构的部件及其沉积方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种具有低磨损率和低摩擦系数的耐腐蚀薄膜多层结构，其包括：1～1000段，每一段包括基于碳、硅和氢的2～100层(A，B)；以及任选地，功能表面层(FSL)。本发明还涉及一种包括所述薄膜多层结构的部件和其沉积方法。 | ||
| 申请公布号 | CN101360845A | 申请公布日期 | 2009.02.04 |
| 申请号 | CN200780001463.8 | 申请日期 | 2007.01.30 |
| 申请人 | 欧洲航空防务航天公司（EADS）法国 | 发明人 | 瓦莱里·卢卡;米凯尔·茹安特;弗朗西斯·泰西安迪尔;洛朗特·托马斯 |
| 分类号 | C23C16/32(2006.01);C23C16/517(2006.01) | 主分类号 | C23C16/32(2006.01) |
| 代理机构 | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 梁兴龙;王维玉 |
| 主权项 | 1.一种具有低磨损率和低摩擦系数的耐腐蚀薄膜多层结构，其特征在于，其包括：·1～1000段，优选1～500段，每一段包括基于碳、硅和氢的2～100层(A，B)，优选2～10层；以及·任选地，功能表面层(FSL)。 | ||
| 地址 | 法国巴黎 | ||