发明名称 离子源、系统和方法
摘要 公开了离子源、系统和方法。
申请公布号 CN101361157A 申请公布日期 2009.02.04
申请号 CN200680051579.8 申请日期 2006.11.15
申请人 阿利斯公司 发明人 比利·W·沃德;约翰·A·诺特四世;路易斯·S·法卡斯三世;兰德尔·G·珀西瓦尔;雷蒙德·希尔;拉斯·马克沃特;德克·阿德霍尔德
分类号 H01J37/28(2006.01);H01J9/02(2006.01);H01J37/08(2006.01);H01J37/252(2006.01);H01J37/305(2006.01);H01J37/317(2006.01);H01J27/26(2006.01);B81B1/00(2006.01);G01N23/225(2006.01);G12B21/02(2006.01) 主分类号 H01J37/28(2006.01)
代理机构 北京市柳沈律师事务所 代理人 陶凤波
主权项 1.一种系统,包括:气体场离子源,能够与气体相互作用从而产生与样品相互作用的离子束,从而引起多种不同类型的粒子离开所述样品;并且至少一探测器,被配置以便探测所述不同类型的粒子中的至少两种不同类型的粒子,其中所述多种不同类型的粒子选自由二次电子、俄歇电子、二次中性粒子、一次中性粒子、散射的离子和光子构成的组。
地址 美国马萨诸塞州