发明名称 |
离子源、系统和方法 |
摘要 |
公开了离子源、系统和方法。 |
申请公布号 |
CN101361157A |
申请公布日期 |
2009.02.04 |
申请号 |
CN200680051579.8 |
申请日期 |
2006.11.15 |
申请人 |
阿利斯公司 |
发明人 |
比利·W·沃德;约翰·A·诺特四世;路易斯·S·法卡斯三世;兰德尔·G·珀西瓦尔;雷蒙德·希尔;拉斯·马克沃特;德克·阿德霍尔德 |
分类号 |
H01J37/28(2006.01);H01J9/02(2006.01);H01J37/08(2006.01);H01J37/252(2006.01);H01J37/305(2006.01);H01J37/317(2006.01);H01J27/26(2006.01);B81B1/00(2006.01);G01N23/225(2006.01);G12B21/02(2006.01) |
主分类号 |
H01J37/28(2006.01) |
代理机构 |
北京市柳沈律师事务所 |
代理人 |
陶凤波 |
主权项 |
1.一种系统,包括:气体场离子源,能够与气体相互作用从而产生与样品相互作用的离子束,从而引起多种不同类型的粒子离开所述样品;并且至少一探测器,被配置以便探测所述不同类型的粒子中的至少两种不同类型的粒子,其中所述多种不同类型的粒子选自由二次电子、俄歇电子、二次中性粒子、一次中性粒子、散射的离子和光子构成的组。 |
地址 |
美国马萨诸塞州 |