基板承载装置及其支撑装置

摘要

本发明涉及一种基板承载装置及其支撑装置。其中，该支撑装置包含：杆体，具有相对的第一端与第二端，第一端连接至接地部；顶掣件，位于杆体的第二端，其中该顶擎件远离杆体的部分为由绝缘材料制成的绝缘端，在该绝缘端设有穿孔；顶针，一部分配置于顶掣件内，且与接地部电性连接，该顶针的一端伸出该穿孔而露出该绝缘材料；以及弹性组件，置于顶掣件内，支撑顶针。该基板承载装置包含：一平台；至少一支撑装置，安装在该平台上，该支撑装置一端连接至该平台并连接至接地部；以及一基板，安装在该支撑装置上，同时与该顶掣件的绝缘材料及顶针接触。本发明的优点在于：防止顶掣件累积电荷造成顶掣件所支撑的基板发生不良，以提高质量合格率。

主权项

1.一种支撑装置，包含：一杆体，具有相对的一第一端与一第二端，该第一端连接至一接地部；一顶掣件，位于该杆体的该第二端，其中该顶掣件远离该杆体的部分为由绝缘材料制成的绝缘端，在该绝缘端设有穿孔；一顶针，该顶针的一部分配置于该顶掣件内，且与该接地部电性连接，该顶针靠近该顶掣件的绝缘端的一端能伸出该穿孔而露出该绝缘端；及一弹性组件，置于该顶掣件内，支撑该顶针，使该顶针通过该弹性组件与该杆体、该顶擎件保持导通的状态。